Cyfleusterau
Mae ein hoffer a’n cyfleusterau modern o’r radd flaenaf yn galluogi ymchwilwyr a diwydiant i gydweithio.
Symudodd yr ICS i'w ystafell lân newydd yn 2023. Roedd y cyfleuster 1500m2 pwrpasol hwn yn galluogi'r raddfa hyd at 200mm (8") o gapasiti waffer, sy'n hanfodol ar gyfer perthnasedd diwydiannol. Gyda chymorth gan yr EPSRC a Llywodraeth Cymru trwy Gronfeydd Datblygu Rhanbarthol Ewrop, mae'r ICS wedi buddsoddi mewn offer newydd i ddarparu ystod eang o opsiynau prosesu. Mae hyn yn sicrhau y gallwn ddarparu gwasanaeth hyblyg i gwrdd â'r ystod ehangaf posibl o ofynion ffugio o ran deunyddiau, geometregau a graddfa o ddarnau bach i waffers 200mm.
Mae'r cyfarpar yn cynnwys:
- SYSTEM DDYDDODI FFILM DENAU™ Lesker PRO Line™ PVD 200™
- SYSTEM DDYDDODI FFILM DENAU Lesker PRO Line™ PVD 200™ gyda chlo llwyth UHV
- Anweddydd Dielecric Buhler Boxer
- Moorfield Minilab ET080A e-beam
- Moorfield Minilab S060M
- Ffwrnais Ocsidiad Gwlyb AET (AlOx).
- Oxford Instruments PlasmaPro 100 Cobra 300 Teclyn Plasma Etch
- Oxford Instruments RIE80
- Prosesydd RTP Jipelec JetFirst 300
- Prosesydd RTP Jipelec JetFirst 100
- Plasma Etch Inc. PE-100 Plasma Asher
- Aliniwr Mwgwd SÜSS MicroTec MJB4
- Aliniwr Mwgwd SÜSS MicroTec MA6
- Aliniwr Mwgwd SÜSS MicroTec MA8 Gen4
- Glanhawr Mwgwd SÜSS MicroTec HMx9
- SÜSS MicroTec MCS8 Labcluster
- Datblygwr dyfrllyd SÜSS MicroTec AD12
- Datblygwr Hydoddydd SÜSS MicroTec SD12
- System Dyddodiad Haen Atomig (ALD) Beneq TFS 200
- Heidelberg MLA150
- Raith EBPG 5200 (Haf 2023!)
- Ysgrifennydd Ebeam Raith Eline 100mm
- Durham Magneto Optics, ML3
- Hitachi SU8320 SEM Cydraniad Uchel
- Thermo Fisher PhenomXL G2 SEM
- Bruker DektakXT Advanced System (DXT-A)
- Semilab SE-2000 Ellipsometer
- Zeiss Z2 Vario Axio microsgop delweddu
- Keyence VHX-7100 microsgop
- Loadpoint nanoace wafer dicing system
- KLA P17 Stylus Profilometer
- Surfscan 6200
- Royce Instruments DE35i-8 semi-automatic Die Pick and Place system
- Logitech DL61 Peiriant Lapio
- DTX Scribe & break system
Cysylltu
I gael rhagor o wybodaeth am ein cyfleusterau, ebostiwch: ics@caerdydd.ac.uk
